Химические технологии в наноэлектронике

← К списку программ

Дополнительная профессиональная образовательная программа профессиональной переподготовки «Химические технологии в наноэлектронике»
Программа была разработана по проекту Фонда инфраструктурных и образовательных программ РОСНАНО.

Заказчиком программы является Акционерное общество «Научно-производственное предприятие “Пульсар”» (НПП «Пульсар»).

Программа принята на заседании Учёного совета РТУ МИРЭА 29 мая 2019 года и утверждена приказом РТУ МИРЭА от 3 июня 2019 года N 872.
Руководитель проекта – президент РТУ МИРЭА, академик РАН Александр Сергеевич Сигов.

Цель программы
Профессиональная переподготовка специалистов предприятий наноиндустрии для осуществления трудовых функций в области химических технологий в наноэлектронике и освоения на практике технологических и аналитических решений, непосредственно связанных с текущими производственными задачами.

Задачи
• Сформировать совокупность знаний, умений и практических навыков, обеспечивающих получение заданных образовательных результатов
• Выбрать адекватные образовательные технологии для формирования профессиональных компетенций
• Разработать учебно-методический комплекс, обеспечивающий программу профессиональной переподготовки
• Создать начальные версии методических материалов для слушателей и преподавателей

Целевая аудитория
Программа предназначена для профессиональной переподготовки научных и инженерно-технических работников следующих направлений:
• Физико-химические свойства материалов наноэлектроники, химические технологии получения структур с высокой степенью интеграции, оптимизация технологических процессов
• Использование систем и методов вакуумно-плазменного травления и физико-химического осаждения слоёв в технологии производства изделий наноэлектроники
• Применение методов растровой электронной микроскопии (РЭМ) и растровой ионной микроскопии (РИМ) для исследования структуры и анализа материалов наноэлектроники
• Нормативный срок освоения программы: до 350 часов каждого из трёх профессиональных модулей (ПМ)

Структура программы
►Междисциплинарный курс (МДК) (98 часов)
►ПМ 1. Получение НРС с заданными свойствами, анализ их структуры и свойств (208 часов)
►ПМ 2. Применение методов вакуумно-плазменного травления и химического осаждения слоёв материалов наноэлектроники (186 часов)
►ПМ 3. Анализ и модификация объектов наноэлектроники методами растровой электронной и ионной микроскопии (172 часа)

Структура ПМ 1
• Учебная дисциплина (УД) 01.01. Свойства, структура, синтез наноразмерных систем (78 часов)
• Дисциплина УД 01.02. Методы исследования структуры и свойств наноразмерных систем (60 часов)
• Практика (70 часов), включая выполнение выпускной квалификационной работы (ВКР)

Структура ПМ 2.
• Дисциплина УД 02.01. Вакуумно-плазменные процессы травления материалов в технологиях наноэлектроники (40 часов), включая СРС
• Дисциплина УД 02.01. Методы осаждения материалов в технологиях наноэлектроники (60 часов)
• Практика (86 часов), включая ВКР

Структура ПМ 3.
• Дисциплина УД 03.01. Методы РЭМ для исследования материалов микро- и наноэлектроники (60 часов), включая ЭУК
• Дисциплина УД 03.02. Методы РИМ для исследования и модификации структуры материалов микро- и наноэлектроники (62 часа)
• Практика (50 часов), включая ВКР

Реализация обучения возможна в интерактивном режиме в Учебно-методическом центре интерактивных технологий, на учебном оборудовании кафедры «Энергетические технологии, системы и установки» ИТХТ имени М.В. Ломоносова и в учебно-научных лабораториях УНО «Электроника».

Порядок приёма
На обучение могут быть зачислены специалисты с высшим техническим образованием.
По вопросам зачисления обращаться в Институт дополнительного образования РТУ МИРЭА: г. Москва, проспект Вернадского, 78, аудитория Г-407, телефон +7 499 215-65-65 доб. 1026, e-mail: ido@mirea.ru.
Зачисление на программу будет производиться после полной оплаты обучения.
Стоимость обучения договорная, но не менее 200 000 рублей за группу до 10 человек.