Протокол № 21
заседания диссертационного совета 24.2.326.07
от 16.11.2023
Состав диссертационного совета утвержден в количестве 22 человек. Присутствовали на заседании 17 человек.
Председатель: д.ф.-м.н., доцент Юрасов Алексей Николаевич
Присутствовали: 
д.т.н. профессор Белкин Михаил Евсеевич, д.т.н., профессор Битюков Владимир Ксенофонтович, д.ф.-м.н., профессор Блантер Михаил Соломонович, д.т.н., профессор Буш Александр Андреевич, д.т.н. Воротилов Константин Анатольевич, д.ф.-м.н., профессор Ганьшина Елена Александровна, д.ф.-м.н., доцент Китаева Галия Хасановна, д.т.н., профессор Кондратенко Владимир Степанович, д.ф.-м.н., профессор Мишина Елена Александровна, д.ф.-м.н. Пасечник Сергей Вениаминович, д.т.н., профессор, Петров Вадим Александрович, д.ф.-м.н., профессор Прудников Валерий Николаевич, д.ф.-м.н., профессор Пятаков Александр Павлович, д.ф.-м.н., профессор Сигов Александр Сергеевич, д.ф.-м.н. доцент Фетисов Леонид Юрьевич, д.ф.-м.н., профессор Фетисов Юрий Константинович, д.ф.-м.н., профессор Юрасов Алексей Николаевич.

Научный руководитель:                                                 
Рогожин Александр Евгеньевич,
Кандидат физико-математических наук, старший научный сотрудник, руководитель лаборатории технологий электронной и оптической литографии Физико-технологического института им. К.А. Валиева РАН.

Официальные оппоненты:                                                 
1) Зайцев Сергей Иванович, доктор физико-математических наук, главный научный сотрудник лаборатории теоретической физики Института проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН. 

2) Чесноков Сергей Артурович, доктор химических наук, ведущий научный сотрудник, заведующий лабораторией фотополимеризации и полимерных материалов Института металлоорганической химии им. Г.А. Разуваева РАН.

Ведущая организация:                                          
Научно-производственный комплекс «Технологический центр».

Слушали: Диссертационную работу Сидорова Федора Алексеевича
«Физические механизмы сухого электронно-лучевого травления» на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук по специальности 2.2.2 — Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств.

Постановили: На заседании 16.11.2023 диссертационный совет принял решение присудить Сидорову Федору Алексеевичу учёную степень кандидата физико-математических наук.
При проведении тайного голосования диссертационный совет в количестве 17 человека, из них 6 докторов наук по специальности диссертации, участвовавших в заседании, из 22 человек, входящих в состав совета,
проголосовали: за присуждение учёной степени - 16, против присуждения учёной степени - 0, недействительных бюллетеней - 1.

Заместитель Председателя совета                         		Юрасов Алексей Николаевич
Учёный секретарь совета                    			Фетисов Леонид Юрьевич