ЗАКЛЮЧЕНИЕ ДИССЕРТАЦИОННОГО СОВЕТА Д 212.131.02 НА БАЗЕ ФЕДЕРАЛЬНОГО ГОСУДАРСТВЕННОГО БЮДЖЕТНОГО ОБРАЗОВАТЕЛЬНОГО УЧРЕЖДЕНИЯ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ «МИРЭА – РОССИЙСКИЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ» РТУ МИРЭА МИНОБРНАУКИ РОССИИ ПО ДИССЕРТАЦИИ НА СОИСКАНИЕ УЧЕНОЙ СТЕПЕНИ КАНДИДАТА НАУК
аттестационное дело № __________________
решение диссертационного совета от 25.12.2018 №100

О присуждении Елшину Андрею Сергеевичу ученой степени кандидата физико-математических наук.
Диссертация «Фундаментальные основы технологии фемтосекундной лазерной кристаллизации сегнетоэлектрических микроструктур для устройств микро- и оптоэлектроники и их нелинейно-оптическая диагностика» в виде рукописи
по специальности 05.27.01 – «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах» выполнена на кафедре наноэлектроники МИРЭА принята к защите «12» октября 2018 года, протокол №96 диссертационным советом Д 212.131.02 на базе федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего образования «МИРЭА - Российский технологический университет» РТУ МИРЭА, Минобрнауки РФ, Москва, 119454, проспект Вернадского, 78. Состав диссертационного совета утвержден в количестве 29 человек 11.04.2012 (№105/нк) с учетом внесенных изменений (приказ от 22.08.2012 №579/нк и приказ от 10.07.2015 № 770/нк).
Соискатель Елшин Андрей Сергеевич 1992 года рождения, гражданин Российской Федерации. Выпускник 2014 года кафедры «Физика конденсированного состояния» факультета электроники «Московского технологического университета» - МИРЭА, по специальности «нанотехнология в электронике». С 2012 года по настоящее время является сотрудником специализированной учебно-научной лаборатории фемтосекундной оптики для нанотехнологий на кафедре наноэлектроники в должности сначала лаборанта-исследователя, затем стажера-исследователя. C 2018 является преподавателем кафедры физики.
Обучался в аспирантуре федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего образования «МИРЭА - Российский технологический университет» РТУ МИРЭА в период с 01.10.2014 по 30.09.2018. Диссертация выполнена на кафедре наноэлектроники физико-технологического института РТУ МИРЭА. 
Научный руководитель – Мишина Елена Дмитриевна, доктор физико-математических наук, профессор, профессор РТУ МИРЭА, заведующая учебно-научной лабораторией фемтосекундной оптики для нанотехнологий РТУ МИРЭА.
Официальные оппоненты: 
1. Политова Екатерина Дмитриевна, гражданин РФ, доктор физико-математических, заведующая лабораторией оксидных материалов АО «НИФХИ им. Л. Я. Карпова» и 
2. Бессонов Владимир Олегович, гражданин РФ, кандидат физико-математических наук, старший научный сотрудник физического факультета МГУ имени М.В. Ломоносова 
дали положительные отзывы на диссертацию.
Ведущая организация Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технический институт имени А.Ф. Иоффе Российской академии наук в своем положительном заключении, подписанным Вахрушевым Сергеем Борисовичем, профессором, доктором физико-математических наук, заведующим лабораторией нейтронных исследований отделения физики диэлектриков и полупроводников ФГБУН «Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе», на расширенном заседании указала, что диссертация представляет собой завершенную научно-исследовательскую работу на актуальную тему, содержит совокупность новых результатов и положений, и ее автор заслуживает присуждения ученой степени кандидата физико-математических наук.
В обсуждении диссертационной работы приняли участие: д.ф.-м.н. Морозов А.И., д.ф.-м.н. Юрасов А.Н., д.ф.-м.н. Китаева Г.Х., д.ф.-м.н. Мишина Е.Д., д.т.н. Битюков В.К.
Соискатель имеет 11 опубликованных работ по теме диссертации, в том числе 7 статей в научных журналах и изданиях, которые включены в перечень российских рецензируемых научных журналов и изданий для опубликования основных научных результатов диссертаций. 
Соискателем опубликованы 10 работ в материалах всероссийских и международных конференций. Наиболее значимые научные работы по теме диссертации:

1.  А.S. Elshin, I.P. Pronin, O.M. Zhigalinа, M.Y. Presniakov, D.N. Khmelenin, E.D. Mishina, V.I. Emel’yanov Reverse-directional explosive crystallization of microstructures in transparent film on absorbing substrate by a multipulse femtosecond radiation // Solid State Communications. – 2015. – Т. 224. – С. 5-9.
2. N.E. Sherstyuk, E.D. Mishina, S.D. Lavrov, A.M. Buryakov, M.A. Marchenkova, A.S. Elshin, A.S. Sigov Optical second harmonic generation microscopy for ferroic materials // Ferroelectrics. – 2015. – Т. 477. – №. 1. – С. 29-46.
3.  А.С. Елшин, Д.А. Абдуллаев, Е.Д. Мишина Зависимость оптимальных параметров фемтосекундного лазерного отжига пленок цирконата-титаната свинца от их толщины // Физика твердого тела. – 2016. – Т. 58. – №. 6. – С. 1118-1123.
4.  А.С. Елшин, Н.Ю. Фирсова, О.М. Жигалина, Е.Д. Мишина Нелинейно-оптическая диагностика процесса локальной кристаллизации пленок цирконата-титаната свинца фемтосекундным лазерным излучением // Письма в Журнал технической физики. – 2015. – Т. 41. – №9. – С. 16-23
На диссертацию и автореферат поступило 4 отзыва:
1. От М.В. Горкунова, кандидата физико-математических наук, и.о. ведущего научного сотрудника ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН - отзыв положительный. В отзыве присутствуют следующие замечания:
а) Двухстадийная методика лазерного отжига, выдвигаемая как 1-е защищаемое положение, подразумевает необходимость нетривиальной временной зависимости интенсивности лазерного излучения. По прочтении автореферата остается неясным, объяснено ли это в теоретической модели, и как это соотносится с положением 2д). «импульсным характером нагрева можно пренебречь».
б) Для полноты описания следовало бы привести длины волн излучения, используемого во всех оптических экспериментах.
в) Керамика, именуемая PZT в тексте, обозначена в кириллической транскрипции «ЦТС» на Рис.8 без объяснений.
г) Описание основных уравнений теоретической модели на стр. 14-17 проведено с использованием явно чрезмерного числа констант и параметров, что существенно затрудняет понимание сути модельных предположений.
д) Надеюсь, что «высокотемпературная температуропроводность» (см. стр. 16) лишь досадная опечатка. 
Отмечено, что замечания носят технический характер и не уменьшают общей научной ценности работы.
2. От В.Я. Шура, доктора физико-математических наук, главного научного сотрудника Научно-исследовательского института физики и прикладной математики Института естественных наук и математики Уральского федерального университета - отзыв положительный.
3. От А.В. Солнышкина, доктора физико-математических наук, профессора кафедры физики конденсированного состояния Тверского государственного университета - отзыв положительный. 
4. От К.А. Кузнецова, кандидата физико-математических наук, научного сотрудника физического факультета МГУ им М.В. Ломоносова – отзыв положительный.
Выбор официальных оппонентов и ведущей организации обосновывается тем, что они являются одними из ведущих специалистов в данной области.
Диссертационный совет отмечает, что в результате выполненных соискателем исследований: 
1.	Предложена двухстадийная методика лазерной кристаллизации, которая состоит из первого этапа мощного короткого нагрева (0,1 с, 1 МВт/см2) и второго этапа более слабого и длительного нагрева (1 минута, 100 кВт/см2) и позволяет снизить температурное воздействие на образец и увеличить нелинейно-оптический отклик на два порядка. В результате такого воздействия формируется локальная область перовскитной фазы без паразитной абляции в центре структур.
2.	Представлены и охарактеризованы образцы локальных и протяженных микроволноводных структур. 
3.	Результаты экспериментов показали, что кристаллические области формируются от поверхности пленки, хотя максимальная температура достигается вблизи интерфейса PZT/Pt. Размер структур зависит от длительности нагрева.
4.	Численное моделирование показало наличие термически индуцированных растягивающих напряжений в пленке. Они максимальны вблизи интерфейса и спадают к поверхности. Рассчитаны плотности мощности для достижения необходимой для кристаллизации температуры при различной толщине оксида кремния. Показано, что температура быстро спадает с расстоянием от центра нагрева, чем обеспечивается меньшее температурное воздействие на кристалл, по сравнению с изотермическим отжигом. Модели с учётом импульсного и непрерывного нагрева показали сходные температурные распределения.
5.	Предложена модифицированная аналитическая модель для кристаллизации, которая учитывает термоиндуцированные растягивающие напряжения в пленке, которые, в свою очередь, оказывают влияние на энергию активации кристаллизации и на критическую температуру кристаллизации. Данные, полученные на основе предложенной автором модификации модели, хорошо согласуются с экспериментальными результатами. Также данная модификация модели позволяет оценить размер структур в зависимости от условий кристаллизации.
Теоретическая значимость работы обусловлена модификацией модели для локальной кристаллизации из твердой фазы, которая позволяет учитывать термоиндуцированные механические напряжения. 
Практическая значимость представленной работы состоит в развитии методики локального получения сегнетоэлектрических структур в тонких плёнках с помощью лазерного нагрева с минимальным термическим воздействием на окружающие области и подложку. Автором предложена двухстадийная методика лазерного нагрева, которая позволяет уменьшить термическое воздействие на плёнку и увеличить нелинейно-оптические свойства микроструктур. Получены образцы волноводов в планарной структуре, по которым можно передавать свет. Показаны оптимальные условия для их получения.
Оценка достоверности результатов исследования выявила, что полученные результаты получены с применением комплекса современных взаимодополняющих друг друга методов исследований, дающих согласующиеся между собой результаты; что они не противоречат современным теоретическим представлениям и данным, известным из литературы; что результаты диссертации неоднократно апробированы на конференциях; что все основные результаты опубликованы в научных журналах из Перечня ВАК. 
Все вышеперечисленное в совокупности свидетельствует о достоверности полученных результатов и сделанных на их основании выводов.
Личный вклад соискателя состоит в получении образцов кристаллизованных микроструктур, их экспериментальном исследовании методиками нелинейно-оптической микроскопии. Автором самостоятельно произведены численные расчеты, а  также автор принимал непосредственное участие в расчетах в рамках аналитической модели. Все выносимые на защиту основные положения выполнены лично автором.
Часть работ по созданию образцов была выполнена в следующих институтах: 
Образцы прекурсорных пленок были сделаны в ФТИ им. Иоффе РАН в группе И.П. Пронина. Образцы срезов микроструктур, а также их диагностика с помощью просвечивающей электронной микроскопии были сделаны в Институте кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН в группе О.М. Жигалиной.
В диссертации решены основные вопросы поставленной научной задачи, она соответствует критерию внутреннего единства, что подтверждается наличием последовательного плана исследования и непротиворечивой методологической платформы и взаимосвязанностью выводов.
На заседании 25.12.2018 диссертационный совет принял решение присудить Елшину Андрею Сергеевичу ученую степень кандидата физико-математических наук.
При проведении тайного голосования диссертационный совет в количестве 23 человек, из них 7 докторов наук по специальности диссертации, участвовавших в заседании, из 29 человек, входящих в состав совета, проголосовали: за присуждение учёной степени - 22, против присуждения учёной степени - 1, недействительных бюллетеней нет.

Зам. председателя
диссертационного совета 			А.Н. Юрасов
Ученый секретарь
диссертационного совета 								Л.Ю. Фетисов
25.12.2018