Технологии и устройства микро- и наноэлектроники

Выпускающие кафедры:
  • Кафедра наноэлектроники
  • Базовая кафедра № 130 твердотельной электроники
  • Базовой кафедре № 146 материалов и функциональных структур информационных систем и СВЧ техники