• Беспалов Алексей Викторович
    Директор

    Кабинет № 202А
    Телефон: +7 (917) 528-10-32

    E-mail: bespalov_a@mirea.ru

    Положение

    Основным направлением работы Наноцентра является развитие методов и средств разрушающего и неразрушающего анализа отказов в сфере микроэлектроники. Для осуществления своей деятельности Наноцентр МИРЭА обладает различным современным оборудованием, которое объединено в 16 автоматизированных рабочих мест (АРМ) и 4 участка, позволяющим проводить наукоемкий анализ.

    Основные направления работы:
    • Анализ отказов изделий микроэлектроники
    • Исследование материалов микроэлектроники
    • Специальная проверка ЭКБ по лицензии ФСБ РФ
    • Верификационные исследования электронной компонентной базы иностранного производства
    • Анализ конструктивно-технологических особенностей построения изделий микроэлектроники, в т.ч. самых современных, оценка технологического процесса
    • Ведение научно-исследовательских работ в сфере микроэлектроники
    • Разработка методик для разрушающего и неразрушающего контроля ЭКБ
    • Научно-образовательная деятельность

    Широкий спектр различного оборудования позволяет решать задачи повышенной сложности:
    • Верификация, т.е. сравнение полученных функциональных слоев реального кристалла с конструкторской документацией, предоставленной разработчиком топологии.
    • Послойное препарирование современных кристаллов ИМС с техпроцессом до 65 нм включительно, с применением ионно-плазменного травления и химико-механической планаризации.
    • Получение панорам высокого разрешения всех основных функциональных слоев кристаллов ИМС, (слои межсоединений, слои межуровневых контактов, слой поликремниевых затворов и активный слой полупроводниковых элементов.
    • Обратное проектирование отдельных узлов кристалла ИМС.
    • Анализ конструктивно-технологических особенностей построения современных изделий ЭКБ, т.е. анализ топологии, определение технологии построения отдельных транзисторов, оценка техпроцесса, определение вида изоляции (для анализа радиационной стойкости) и многое другое.

  • Беспалов Алексей Викторович
    Директор Наноцентра МИРЭА
    Кабинет № 202А

    Телефон: +7 (917) 528-10-32
    E-mail: Bespalov_a@mirea.ru


    Гераськин Андрей Александрович
    Заместитель директора
    Кабинет №202Б

    Телефон: +7 (916) 843-18-95
    E-mail: geraskin_a@mirea.ru


    Богомолов Андрей Игоревич
    Начальник отдела прикладной диагностики
    Кабинет №234

    Телефон: +7 (915) 353-07-16
    E-mail: ai_bogomolov@mirea.ru


    Савин Сергей Сергеевич
    Инженер
    Кабинет №230

    Телефон: +7 (926) 334-75-44
    E-mail: savin@mirea.ru


  • Почтовый адрес:
    105118, г. Москва, 5-я улица Соколиной горы, д. 22, 2 этаж

    Телефон:
    +7 (495) 365-32-25

    E-mail:
    nc@mirea.ru
Система Orphus